电子工业超纯水设备的要求-重庆名蓝水处理设备

电子工业超纯水设备水质标准：

   我公司半导体行业用超纯水出水水质完全符合美国ASTM纯水水质标准、我国电子工业部电子级水质技术标准（18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm五级标准）、我国电子工业部高纯水水质试行标准、美国半导体工业用纯水指标、日本集成电路水质标准、大规模集成电路水质标准。

电子工业超纯水设备的工艺流程：

1、预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→抛光混床→0.2或0.5μm精密过滤器→产水(≥18MΩ.CM)

2、预处理→一级反渗透→加药机(PH调节)→中间水箱→第二级反渗透(正电荷反渗透膜)→纯水箱→纯水泵→EDI装置→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象(≥17MΩ.CM)

3、预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象(≥15MΩ.CM)

4、预处理系统→反渗透系统→中间水箱→纯水泵→混床→紫外线杀菌器→精密过滤器→用水对象(≥15MΩ.CM)